|
| 型号：ESCALAB 250Xi XPS |
| 详细描述 |
|
ESCALAB250Xi 配备了微聚焦X射线单色器，提供优化的XPS性能。其市场领先的灵敏度确保了最大样本量。XPS并行成像是选择最好横向分辨率的方法，ESCALAB250Xi提供的成像空间分辨率优于<3μm。最新开发的成像检测器提供了“免签名“的定量数据。多技术能力和系列预备室及各种设备的可用性，确保该仪器将提供任何表面分析问题的解决方案。 主要特点 • 高灵敏度能量分析器 • 标配X射线单色器 • 小面积XPS • 成像空间分辨率<3µm • 定量成像 • 深度剖析性能 • 角分辨 XPS • 微聚焦单色器 • 标准配置包含离子散射能谱（ISS） • 标准配置包含反射电子能量损失谱（REELS） • 标准配置包含预备室 • 多技术分析功能 • 多种样品制备选项 • 全自动无人值守式分析 • 多样品分析 • 基于Windows 的Avantage数据系统 X射线单色器 • 双晶体微聚焦单色器拥有500 mm直径罗兰圆，使用铝阳极 • 用户可选择200微米至900微米任何大小X射线光斑照射样品 透镜/分析器/检测器 • 透镜/分析器/检测器一体化使ESCALAB 250Xi具备同时拥有成像和小面积XPS测试能力的独特性 • 两种类型的检测器可以确保分析者为每种分析选用最佳的分析器——二维检测器用于成像，当检测到高计数率时能谱分析使用基于通道电子倍增器的检测器 • 配备两组电脑控制虹膜机制透镜——一组用于用户控制分析区域，小面积测试模式下可下降到小于20微米，另一组透镜用于控制接收角，对于高质量角分辨XPS至关重要 • 180°半球能量分析器 深度剖析 • 数字化控制的EX06离子枪可用于提供优异的深度剖析测试 • 即便使用低能离子，EX06离子枪同样是一款高性能的离子源 • 可用于深度剖析中样品原点多方位旋转刻蚀 • 多技术能力 • 设计用于其它分析技术，不局限于XPS测试 • 透镜组和能量分析器供电是可逆的——使用EX06离子枪，ISS（离子散射能谱）始终可用 • 电子枪加压可升至1000V，为REELS提供优异的离子源 技术选项 • 带非单色化X射线光源XPS • AES（俄歇电子能谱） • UPS（紫外电子能谱） 真空系统 • 分析室使用5毫米厚钼合金材料制造，最大限度地提高磁屏蔽效率 • 与使用内部或外部屏蔽的屏蔽法相比，提供的屏蔽效能更佳 样品制备 • 系统基本配置包含一体化的进样室和进样门锁机构 • 额外的制备室可做为选配件 Avantage数据系统 • 赛默飞世尔科技的表面分析仪器和部件由Avantage数据系统控制 • 这个业界领先的软件集成了测试分析的所有方面，包括仪器控制、数据采集、数据处理和报告生成 • Avantage是基于Windows的软件包，可以通过网络远程控制，轻易实现与第三方软件如微软Word软件兼容 • Avantage负责从样品分析到报告生成整个测试分析过程 |
