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| 型号：EVO 15 |
| 详细描述 |
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主要特点：
►分辨率：2 nm, 3 nm @ 30 kV SE with LaB6, W
6 nm, 8 nm @ 3 kV SE with LaB6, W
9 nm, 20 nm @ 1 kV SE with LaB6, W
►加速电压：0.2 – 30 kV
►放大倍数：5 – 1,000,000×
►探针电流： 0.5 pA ~ 5 μA
►存储分辨率：32k x 24k 像素
►低真空范围：10 – 133 Pa (EasyVP)，10 - 400 Pa (Variable Pressure)，10 – 3000 Pa (Extended Pressure)
►样品台：5轴电动样品台，X=125mm、Y=125 mm、Z=50 mm、T=-10o-90o、R=360o 连续
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