型号:GeminiSEM 300 |
详细描述 |
主要特点:
►独树一帜的镜筒内能量选择背散射探测器,在低电压下也可轻松地获得高质量的样品材料衬度图像
►NanoVP技术让您可以使用镜筒内Inlens二次电子探测器对要求苛刻的不导电样品进行高灵敏度、高分辨成像
►分辨率: 0.8nm @15 kV 1.4 nm @1kV
►加速电压:0.02 - 30 kV
►探针电流:3 pA - 20 nA(100 nA选配)
►低真空范围: 10-500Pa
►存储分辨率:32k × 24k 像素
►放大倍率:12 – 2,000,000×
►样品台:5轴优中心全自动,X=130mm、Y=130 mm、Z=50 mm、T=-30o-70o、R=360o 连续
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