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日本堀场株式会社
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全自动椭偏仪
全自动椭偏仪
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型号：UVISEL 2
详细描述
主要特点：
►完全自动化设计，自动对焦、校正
►全新光路、电路设计，测量精度更高、速度更快
►双光栅光谱仪系统，杂散光抑制水平高
►8个尺寸微光斑、专利可视技术
►50KHz高频PEM相调制技术，测量光路中无运动部件
►自动平台样品扫描成像
►配置灵活， 测量范围可扩展至190nm~2100nm
 
 
 
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