型号:916B Series C |
详细描述 |
主要特点:
►8”圆晶MEMS释放后的立式超临界点干燥仪;
►内部高效隔热的冷却循环系统
►Post-Purge 过滤器容易更换及维护;
►内置SOTERTM冷凝器,分离废弃乙醇和废气二氧化碳。
►独特的样品室填块可以调整样品室内径到6”、4"、3”,2”,1.25”
►可以一次干燥5片直径为8”的圆晶,更换样品架,也可以一次干燥5片直径6”、4”、3”、2”的圆晶或5片边长为10mm的方晶;
►内腔有照明灯,样品室盖子带观察窗,便于观察样品室内部状态;
►所有内表面均适用于液态二氧化碳、高纯乙醇和丙酮;
►可重复设定的操作参数确保了结果的可重复性;
►内置圆盘裂片保证安全;
►静态压力控制模块,自动控制系统压力和保持压力稳定性;
►0.4μm内部过滤器系统输送清洁的过滤后的LCO2到样品室;
►所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准;
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